渦輪分(fèn)子泵(bèng)主要由泵(bèng)體、帶葉片的轉(zhuǎn)子(即動葉輪(lún))、靜(jìng)葉輪和(hé)驅動系統等(děng)組成。動葉(yè)輪外緣的(de)線速度高達氣(qì)體分(fèn)子熱運動的(de)速(sù)度(一般為150~400米/秒(miǎo))。單個葉輪的壓縮比(bǐ)很小,爾易貴巨技術有限公司渦輪(lún)分子泵要(yào)由十(shí)多個(gè)動葉輪和(hé)靜葉輪組(zǔ)成。動(dòng)葉輪(lún)和(hé)靜(jìng)葉輪(lún)交替(tì)排列。動、靜葉(yè)輪幾何尺寸(cùn)基本相同,但葉(yè)片傾斜角相反(fǎn)。圖2為20個動(dòng)葉輪(lún)組成(chéng)的整體式(shì)轉子。
每兩(liǎng)個動(dòng)葉輪之間裝一(yī)個靜葉輪(lún)。靜葉輪外(wài)緣用環固(gù)定并使(shǐ)動(dòng)、靜葉(yè)輪間保(bǎo)持1毫米(mǐ)左右的(de)間隙(xì),西安分公司動葉輪可(kě)在(zài)靜葉輪(lún)間自由旋(xuán)轉。