渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉(yè)輪和驅動系統等組成(chéng)。動葉輪外緣的線速度高達氣體(tǐ)分子熱運動(dòng)的速度(一般為150～400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小，上海凱泉渦輪分子泵(bèng)要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸(cùn)基本相(xiàng)同，但葉片傾斜角相反(fǎn)。圖2為20個動葉輪組成的整體式(shì)轉子。

   每兩個動葉輪之間裝一(yī)個靜葉輪。靜葉輪外緣用環固定并使動、靜葉輪間(jiān)保持1毫米左右的間隙，西安分公司(sī)動葉輪可在靜葉輪(lún)間自由旋轉。